Review of the mathematical foundations of data fusion techniques in surface metrology

The recent proliferation of engineered surfaces, including freeform and structured surfaces, is challenging current metrology techniques. Measurement using multiple sensors has been proposed to achieve enhanced benefits, mainly in terms of spatial frequency bandwidth, which a single sensor cannot provide. When using data from different sensors, a process of data fusion is required and there is much active research in this area. In this paper, current data fusion methods and applications are reviewed, with a focus on the mathematical foundations of the subject. Common research questions in the fusion of surface metrology data are raised and potential fusion algorithms are discussed

Prozess und Equipment fuer 300 mm Wafer. Teilvorhaben: Metrologiesystem fuer Masken und Wafer der sub-0.2 #mu#m Chip-Technologie Schlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(101,12) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

MEDEA T601; Ausruestungsplattform fuer den 300 mm-Prozess. Teilvorhaben: Inspektions- und Reviewstation Abschlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(92,33) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Ionen Projektion Lithographie - IPL. Projektteil: Masken System, Wafer Stage und Wafer Handling Abschlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F03B515 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

Einzelelektronentunneln. Teilprojekt, T. 2: Einrichtung eines Elektronenstrahlschreibers fuer Linienbreiten unter 50 nm Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F01B595+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Nichtlineare Laser-Rastermikroskopie. Erhoehung der Aufloesung im Fluoreszenzmikroskop durch Kombination des Point-Spread-Function-Engineering mit spektroskopischen Methoden Schlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B1645 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

Laser-Doppler-spektroskopische Methoden fuer die Auflicht-Mikroskopie am Beispiel der schmerzfreien Pruefung von Tumortherapeutika Abschlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F01B1768+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

Kalibriernormale zur Ermittlung der Tastspitzenform fuer Raster -Kraft-Mikroskope und -Profilometer. Teilvorhaben: Kantenhinterschnittene Kalibriernormale zur In-situ-Bestimmung von Tastspitzenformen Schlussbericht

Available from TIB Hannover: F03B212 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman